Yarıiletken üretimi, gofret temizliği, fotolitografi, aşındırma ve kimyasal mekanik düzlemselleştirme (CMP) . {{{{{{{{{{{{{, Mikroelektronik endüstrisi için toplam ve eşit ve eşit direnç dahil olmak üzere toplam sriterleri karşılamalı ve toplamda, toplamda yüksek ve su sistemleri gibi yüksek güçlü su sistemleri. Karbon (TOC) 1 ppb'den daha az veya eşit veya eşittir . Herhangi bir artık iyon veya partikül çip verimini azaltabilir. Küresel önde gelen seramik membran teknolojisinden ve tüm membran işleminden yararlanan Taihe Çevre Koruma SağlamaES için son derece kararlı çözümleryarı iletken ters osmoz sistemiS, Yurtiçi Yarıiletken Tedarik Zincirlerinde Su Kalitesi Güvenliğini Etkili Bir Destekleme .
Tüm membran sürecinin teknolojik atılımı
Taihe'nin temel teknolojisi- "ters osmoz konsantresini ve dolaşımdaki atık suları tedavi etmek için tüm membran süreci"-Çin Membran Endüstri Derneği tarafından "uluslararası ileri düzeyde" . Bu teknoloji, bu teknoloji, üç konvansiyonel çökeltme +, üç konvansiyonel çökeltme (alkalitasyonun yerini almak için özelleştirilmiş Seramik Membran (GM) üniteleri kullanıyor. Ultrafiltrasyon ") tek bir işlemde, nanokompozitlerden üretilen . seramik membranlar, kirlilik direnci, güçlü alkali tolerans sergileyin ve yüksek akı .}}}}} Semikatçı üretim için önemli ölçüde azaltma, ultrapürü azaltma, ultrapürü azaltın, Sertlik .
Anahtar süreç aşamalarında uygulama önlemleri
- gofret temizliği & cmp:Ultra saf su ters osmoz sistemi, gofret yüzey kusurlarını önlemek için partikülleri ve metal iyonlarını tamamen çıkarmalıdır . Taihe'nin seramik membran ön-tedavi, 0 . 1 μm'den daha büyük veya eşit olarak, düşük SDI (SILT yoğunluk indeksi için SILT-SÜRİK SİSTEMİ İÇİN BEGİSİ GERÇEKLEŞTİRİLMEYE PARTİKLERİ ETKİLERİ ETKİLERİ ETKİLİR. membran çalışması.
- Fotoresist durulama:Fotolitografi, TOC . Taihe'nin sistemi, 1 ppb içinde TOC'yi kontrol etmek için Seramik membranları ultraviyole sterilizasyon ile sinerjikleştirerek, . fotezist nadiren organikler için "sıfır tolerans" gereksinimini karşılamak için sterilizasyona sahiptir.
- Dring ve CMP Atıksu Yeniden Kullanımı:For high-turbidity CMP wastewater, its ceramic membrane units demonstrate strong impact resistance, treating high-salinity wastewater with hardness >% 95 geri kazanım oranlarında 1.200 mg/l, tatlı su tüketimini büyük ölçüde azaltar .
Akılcılık ve yeşil düşük karbon uygulamaları
Taihe, DC'leri (dağıtılmış kontrol sistemi) büyük ölçekli entegre kontrol sistemlerini ultra su arıtma sistemine entegre ederek, su kalitesi parametrelerinin ve enerji optimizasyonunun gerçek zamanlı izlenmesini sağlayan . "Geri alınmış su yeniden kullanım ekipmanları için tamamen kötü bir süreç", Shandong Province'nin alging işlerinin algılanması için sürdürülmesi için listelenmiştir. Yarı iletken sektöründe .
Çözüm
Gelişmiş işlemler (e . g ., 5nm, 3nm) olarak su kalitesi gereksinimlerini artırın,yarı iletken ters osmoz sistemis must continuously push purity boundaries. Building on its "internationally advanced" ceramic membrane technology, Taihe is accelerating R&D in high-flux ceramic ultrafiltration membranes for electronic high-purity water applications, further simplifying pretreatment and enhancing product water efficiency . Future innovations will empower China's semiconductor supply chain, establishing Mikroelektronik endüstrisi için yüksek saflıkta su sistemleri için daha güvenilir, düşük karbonlu teknolojik ölçütler .